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白光干涉儀3d輪廓薄膜厚度儀

簡(jiǎn)要描述:中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀3d輪廓薄膜厚度儀應用領(lǐng)域廣泛,操作簡(jiǎn)便,可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。它通過(guò)測量干涉條紋的變化來(lái)測量表面三維形貌,專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2025-03-09
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:877

詳細介紹

品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
加工定制

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀3d輪廓薄膜厚度儀應用領(lǐng)域廣泛,操作簡(jiǎn)便,可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。它通過(guò)測量干涉條紋的變化來(lái)測量表面三維形貌,專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

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產(chǎn)品功能

(1)SuperViewW1白光干涉儀3d輪廓薄膜厚度儀設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

(2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能;

(3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能;

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

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產(chǎn)品特點(diǎn)

1、非接觸式測量:避免物件受損。

2、三維表面測量。

3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。

4、納米級分辨率。

5、高速數字信號處理器:實(shí)現測量?jì)H需要幾秒鐘。

6、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統。

7、工作臺:氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。

8、測量軟件:基于windows操作系統的用戶(hù)界面,強大而快速的運算。


應用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應用范例:

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SuperViewW1白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。


部分技術(shù)指標

型號

W1

光源白光LED
影像系統1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學(xué)ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標準視場(chǎng)0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學(xué)ZOOM 0.5×)


XY位移平臺

尺寸
320×200㎜
移動(dòng)范圍140×100㎜
負載10kg
控制方式電動(dòng)
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動(dòng)
臺階測量
可測樣品反射率0.05%~100%
主機尺寸700×606×920㎜


如有疑問(wèn)或需要更多詳細信息,請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。

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