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NS系列探針式高重復性臺階儀采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動(dòng)控制、標定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

SuperViewW白光干涉微觀(guān)三維形貌測量?jì)x測量單個(gè)精細器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

有圖晶圓共聚焦高精度測量顯微鏡橫向分辨率高，所展示的圖像形態(tài)細節更清晰更微細，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀(guān)察?？蓽y各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

NS系列微觀(guān)二維形貌輪廓臺階測量?jì)x是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度。

NS系列探針式輪廓薄膜表面臺階儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

VT6000材料共聚焦3D測量顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。所展示的圖像形態(tài)細節更清晰更微細，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀(guān)察。