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臺階儀探針式表面輪廓儀

簡(jiǎn)要描述:中圖儀器NS臺階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。它可以對微米和納米結構進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2025-03-08
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1201

詳細介紹

品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
加工定制

中圖儀器NS臺階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。它可以對微米和納米結構進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

臺階儀探針式表面輪廓儀

主要組成部分

1、測量系統

(1)單拱龍門(mén)式設計,結構穩定性好,而且降低了周?chē)h(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。

(2)線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

(3)傳感器設計使得在單一平臺上即可實(shí)現超微力和正常力測量。測力恒定可調,以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制,實(shí)現無(wú)接觸損傷的精準接觸式測量。

2、工件臺

(1)精密的XY平臺結合360°連續旋轉電動(dòng)旋轉臺,可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調節,三維位置均可以調節,利于樣品調整。

(2)超高直線(xiàn)度導軌,有效避免運動(dòng)中的細微抖動(dòng),提高掃描精度,真是反映工件微小形貌。

3、成像系統

500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機,即時(shí)進(jìn)行高精度定位測量??梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸到控制電腦上,使得測量更加直觀(guān)。

4、軟件系統

測量軟件包含多個(gè)模塊。

5、減震系統

防止微小震動(dòng)對測量結果的影響,使實(shí)驗數據更加準確。

臺階儀探針式表面輪廓儀

典型應用

臺階儀探針式表面輪廓儀

性能特點(diǎn)

NS臺階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。

性能特點(diǎn)

1.亞埃級位移傳感器

具有亞埃級分辨率,結合單拱龍門(mén)式設計降低環(huán)境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測量精度及重復性;

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調,以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,采用超低慣量設計和微小電磁力控制,實(shí)現無(wú)接觸損傷的接觸式測量;

3.超平掃描平臺

系統配有超高直線(xiàn)度導軌,杜絕運動(dòng)中的細微抖動(dòng),真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀(guān)形貌。


部分技術(shù)指標

型號NS200
測量技術(shù)探針式表面輪廓測量技術(shù)
樣品觀(guān)察光學(xué)導航攝像頭:500萬(wàn)像素高分辨率 彩色攝像機,FoV,2200*1700μm
探針傳感器
超低慣量,LVDC傳感器
平臺移動(dòng)范圍X/Y電動(dòng)X(jué)/Y(150mm*150mm)(可手動(dòng)校平)
單次掃描長(cháng)度55mm
樣品厚度50mm
載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
臺階高度重復性5 ?, 量程為330μm時(shí)/ 10 ?, 量程為1mm時(shí)(測量1μm臺階高度,1δ)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環(huán)境

相對濕度:濕度 (無(wú)凝結)30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng):6.35μm/s(1-100Hz)

音頻噪音:≤80dB

空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動(dòng))

如有疑問(wèn)或需要更多詳細信息,請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。

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