簡(jiǎn)要描述:中圖儀器NS臺階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。它可以對微米和納米結構進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。
詳細介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
中圖儀器NS臺階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。它可以對微米和納米結構進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。
1、測量系統
(1)單拱龍門(mén)式設計,結構穩定性好,而且降低了周?chē)h(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。
(2)線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
(3)傳感器設計使得在單一平臺上即可實(shí)現超微力和正常力測量。測力恒定可調,以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制,實(shí)現無(wú)接觸損傷的精準接觸式測量。
2、工件臺
(1)精密的XY平臺結合360°連續旋轉電動(dòng)旋轉臺,可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調節,三維位置均可以調節,利于樣品調整。
(2)超高直線(xiàn)度導軌,有效避免運動(dòng)中的細微抖動(dòng),提高掃描精度,真是反映工件微小形貌。
3、成像系統
500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機,即時(shí)進(jìn)行高精度定位測量??梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸到控制電腦上,使得測量更加直觀(guān)。
4、軟件系統
測量軟件包含多個(gè)模塊。
5、減震系統
防止微小震動(dòng)對測量結果的影響,使實(shí)驗數據更加準確。
NS臺階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。
性能特點(diǎn)
1.亞埃級位移傳感器
具有亞埃級分辨率,結合單拱龍門(mén)式設計降低環(huán)境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測量精度及重復性;
2.超微力恒力傳感器
1-50mg可調,以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,采用超低慣量設計和微小電磁力控制,實(shí)現無(wú)接觸損傷的接觸式測量;
3.超平掃描平臺
系統配有超高直線(xiàn)度導軌,杜絕運動(dòng)中的細微抖動(dòng),真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀(guān)形貌。
型號 | NS200 |
測量技術(shù) | 探針式表面輪廓測量技術(shù) |
樣品觀(guān)察 | 光學(xué)導航攝像頭:500萬(wàn)像素高分辨率 彩色攝像機,FoV,2200*1700μm |
探針傳感器 | 超低慣量,LVDC傳感器 |
平臺移動(dòng)范圍X/Y | 電動(dòng)X(jué)/Y(150mm*150mm)(可手動(dòng)校平) |
單次掃描長(cháng)度 | 55mm |
樣品厚度 | 50mm |
載物臺晶圓尺寸 | 150mm(6吋),200mm(8吋) |
臺階高度重復性 | 5 ?, 量程為330μm時(shí)/ 10 ?, 量程為1mm時(shí)(測量1μm臺階高度,1δ) |
尺寸(L×W×H)mm | 640*626*534 |
重量 | 40kg |
儀器電源 | 100-240 VAC,50/60 Hz,200W |
相對濕度:濕度 (無(wú)凝結)30-40% RH
溫度:16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)
地面振動(dòng):6.35μm/s(1-100Hz)
音頻噪音:≤80dB
空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動(dòng))
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