中圖儀器接觸式臺階膜厚儀采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動(dòng)控制、標定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。
NS系列高精度探針式輪廓儀臺階儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。
NS200接觸探針式微納米測量臺階儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。它利用光學(xué)干涉原理,通過(guò)測量膜層表面的臺階高度來(lái)計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。
NS系列探針式高重復性臺階儀采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動(dòng)控制、標定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。
NS系列微觀(guān)二維形貌輪廓臺階測量?jì)x是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度。
NS系列探針式輪廓薄膜表面臺階儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
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