VT6000共聚焦三維形貌測量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理,結合精密縱向掃描,以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,從而進(jìn)行分析的精密光學(xué)儀器,一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。
VT6000系列3D光學(xué)測量共聚焦顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理,結合精密縱向掃描,以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,從而進(jìn)行分析的精密光學(xué)儀器,一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。
VT6000材料3D測量共聚焦顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理,一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。
VT6000共聚焦三維光學(xué)輪廓顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理,結合精密縱向掃描,以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,從而進(jìn)行分析。
VT6000三維形貌共聚焦材料測量顯微鏡單區域、多區域、拼接、自動(dòng)測量等多種測量模式可選擇,適應多種現場(chǎng)應用環(huán)境;Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護功能,雙重保護。
有圖晶圓共聚焦高精度測量顯微鏡橫向分辨率高,所展示的圖像形態(tài)細節更清晰更微細,能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀(guān)察??蓽y各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。
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