共聚焦顯微鏡系統所展現的放大圖像細節要高于常規的光學(xué)顯微鏡。傳統光學(xué)顯微鏡上常配備靈敏度較低的CCD相機來(lái)采集圖像，對于低照度的光，如熒光無(wú)法探測到，而共聚焦顯微鏡系統使用的探測元件是高靈敏度的光電倍增管，對微弱的熒光信號可以呈現出很高的靈敏度，并且還可以通過(guò)縮小激發(fā)范圍并使用光學(xué)切片來(lái)消除背景噪聲。

VT6000系列3D激光共聚焦顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。它是以共聚焦技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

產(chǎn)品功能

1)設備具備表征微觀(guān)形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

2)設備具備自動(dòng)拼接功能，能夠快速實(shí)現大區域的拼接縫合測量；

3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件，預先設置好配置參數再進(jìn)行測量，軟件自動(dòng)統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實(shí)現批量測量功能；

4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；

5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實(shí)現批量數據文件的快速分析功能；

技術(shù)指標

性能特色

1、高精度、高重復性

1）以轉盤(pán)共聚焦光學(xué)系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統，保證儀器的高測量精度；

2）隔震設計能夠消減底面振動(dòng)噪聲，儀器在嘈雜的環(huán)境中穩定可靠，具有良好的測量重復性。

2、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無(wú)須切換，測量數據自動(dòng)統計，實(shí)現了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口，便于用戶(hù)實(shí)時(shí)觀(guān)察掃描過(guò)程；

3）結合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能，可自動(dòng)完成多區域的測量與分析過(guò)程；

4）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；

6）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

除軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止狀態(tài)，保護儀器，降低人為操作風(fēng)險。

應用領(lǐng)域

VT6000系列3D激光共聚焦顯微鏡對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。