在光學(xué)精密加工領(lǐng)域，微納結構元件的三維形貌檢測是保障器件性能的重要環(huán)節。以微透鏡陣列、衍射光學(xué)元件為代表的精密光學(xué)元件，其特征尺寸已突破亞微米量級，對表面輪廓精度與結構面形誤差的檢測要求達到納米級分辨率。若加工過(guò)程中產(chǎn)生的邊緣塌陷、周期畸變或面形偏差未能精準識別，當此類(lèi)缺陷元件被集成至光通信模塊或成像系統時(shí)，將導致光束傳播相位失配、成像質(zhì)量劣化等問(wèn)題，甚至造成整機系統的功能性失效。

中圖儀器共聚焦顯微鏡是一款多功能的光學(xué)三維測量?jì)x器，可實(shí)現微納尺度的表面三維形貌檢測，助力各行業(yè)研發(fā)、制造、質(zhì)量檢測的研究人員與工程師完成產(chǎn)品檢測需求，嚴控工藝質(zhì)量關(guān)。

光學(xué)光柵是基于精密微納加工技術(shù)制備的周期性衍射元件，通過(guò)微納尺寸溝槽結構，廣泛應用于光譜分析、激光調諧與光通信系統，其結構精度直接決定器件的衍射效率和分辨率。

共聚焦顯微鏡可以對光柵式圖樣進(jìn)行3D檢測，自動(dòng)測量分析光柵深度和周期性間隔，監控光柵關(guān)鍵尺寸良率。

不同周期的環(huán)形光柵圖樣

微透鏡陣列是由通光孔徑及浮雕深度為微米級的透鏡組成的陣列，其最小功能單元可以是球面鏡、非球面鏡、柱鏡、棱鏡等。因為單元尺寸小、集成度高，使得它能構成許多新型的光學(xué)系統，完成傳統光學(xué)元件無(wú)法完成的功能。微透鏡陣列通過(guò)其高集成度與靈活的光場(chǎng)調控能力，正成為光學(xué)系統微型化與智能化的核心元件，在光纖通信、激光光學(xué)等領(lǐng)域的應用潛力巨大。

共聚焦顯微鏡可以對光學(xué)微透鏡陣列三維形貌進(jìn)行重建，檢測表面是否存在微缺陷，自動(dòng)分析透鏡矢高半徑等參數，驗證其是否符合預期標準。