以共聚焦技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器VT6000系列3d共聚焦顯微鏡基于共聚焦顯微技術(shù)，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實(shí)現器件表面形貌3D測量。在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

產(chǎn)品功能

1)設備具備表征微觀(guān)形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

2)設備具備自動(dòng)拼接功能，能夠快速實(shí)現大區域的拼接縫合測量；

3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件，預先設置好配置參數再進(jìn)行測量，軟件自動(dòng)統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實(shí)現批量測量功能；

4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；

5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實(shí)現批量數據文件的快速分析功能；

性能特點(diǎn)

1）結構簡(jiǎn)單：儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內，亦可采用筆記本電腦驅動(dòng)，實(shí)現了“拎著(zhù)走"的便攜式設計；

2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現；

3）操作便捷：采用全電動(dòng)化設計，并可無(wú)縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風(fēng)格，實(shí)現了所見(jiàn)即所得的快速檢測效果；

4）采用自研的電動(dòng)鼻輪塔臺，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進(jìn)行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時(shí)也能應對。

VT6000系列3d共聚焦顯微鏡可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測，對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿(mǎn)足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。