中圖儀器SuperViewW系列白光干涉3d表面形貌儀可測各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW系列白光干涉3d表面形貌儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、干涉物鏡

不通倍率的鏡頭，適應于從超光滑到粗糙度各種表面類(lèi)型的樣品。

2、雙通道氣浮隔振系統

外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統，可有效隔離地面傳導的振動(dòng)噪聲。

3、聲波隔振防護

儀器外殼與內部運動(dòng)機構采用了分離式設計，有效隔離了聲波振動(dòng)的傳導。

4、水平調整裝置

傾斜調整旋鈕，調整條紋寬度，提高3D圖像的重建精度。

5、便攜式操縱桿

采用人體工程學(xué)設計，集成了XYZ三軸位移和速度、光源亮度的自動(dòng)控制，并配有緊急停止按鈕。

6、真空吸附臺

專(zhuān)為半導體晶圓片定制的真空吸附臺，確保樣品在測量過(guò)程中不受空氣中微弱氣流擾動(dòng)的影像。

7、3D重建算法

SuperViewW白光干涉光學(xué)膜厚測量?jì)x自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統的配合下，測量精度可達亞納米級別。

自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開(kāi)發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺，集成了圖像掃描、3D分析、影像測量、自動(dòng)化測量等四個(gè)大的功能模塊，能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機型，可自主識別機型種類(lèi)，二合一機型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動(dòng)切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗，重構了顯微影像測量功能，可針對微觀(guān)平面輪廓尺寸的點(diǎn)、線(xiàn)間的距離、角度、半徑等參數進(jìn)行直接測量和自動(dòng)匹配測量。

自動(dòng)化mark點(diǎn)識別坐標定位自動(dòng)化功能

Mark點(diǎn)影像識別自動(dòng)坐標位置校正，多區域坐標點(diǎn)自動(dòng)定位測量與分析，可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動(dòng)化測量。

自動(dòng)拼接功能

支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測量功能，配合影像導航功能，可自定義測量區域，支持數千張圖像的無(wú)縫拼接測量。

應用領(lǐng)域圖片

SuperViewW國產(chǎn)3D光學(xué)輪廓測量?jì)x可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

部分技術(shù)指標

如有疑問(wèn)或需要更多詳細信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。