中圖儀器NS系列涂層臺階膜厚儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器，其精密的XY平臺結合360°連續旋轉電動(dòng)旋轉臺，可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調節，三維位置均可以調節，利于樣品調整。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。

NS系列涂層臺階膜厚儀采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動(dòng)控制、標定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

產(chǎn)品特性

1.出色的重復性和再現性，滿(mǎn)足被測件測量精度要求

線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調

測力恒定可調，以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制，實(shí)現無(wú)接觸損傷的精準接觸式測量。

3.超平掃描平臺

系統配有超高直線(xiàn)度導軌，杜絕運動(dòng)中的細微抖動(dòng)，提高掃描精度，真實(shí)反映工件微小形貌。

4.頂視光學(xué)導航系統，5MP超高分辨率彩色相機

5.全自動(dòng)X(jué)Y載物臺， Z軸自動(dòng)升降、360°全自動(dòng)θ轉臺

6.強大的數據采集和分析系統

臺階儀軟件包含多個(gè)模塊，為對不同被測件的高度測量及分析評價(jià)提供充分支持。

產(chǎn)品功能

1.參數測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過(guò)計算掃描出的微觀(guān)輪廓曲線(xiàn)，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等數十項參數。

3）應力測量：可測量多種材料的表面應力。

2.測量模式與分析功能

1）單區域測量模式：完成Focus后根據影像導航圖設置掃描起點(diǎn)和掃描長(cháng)度，即可開(kāi)始測量。

2）多區域測量模式：完成Focus后，根據影像導航圖完成單區域掃描路徑設置，可根據橫向和縱向距離來(lái)陣列形成若干到數十數百項掃描路徑所構成的多區域測量模式，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動(dòng)測量。

3）3D測量模式：完成Focus后根據影像導航圖完成單區域掃描路徑設置，并可根據所需掃描的區域寬度或掃描線(xiàn)條的間距與數量完成整個(gè)掃描面區域的設置，一鍵即可自動(dòng)完成整個(gè)掃描面區域的掃描和3D圖像重建。

4）SPC統計分析：支持對不同種類(lèi)被測件進(jìn)行多種指標參數的分析，針對批量樣品的測量數據提供SPC圖表以統計數據的變化趨勢。

3.雙導航光學(xué)影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機，在正視導航影像系統中可精確設置掃描路徑，在斜視導航影像系統中可實(shí)時(shí)跟進(jìn)掃描軌跡。

4.快速換針功能

采用了磁吸式測針，當需要執行換針操作時(shí)，可現場(chǎng)快速更換掃描測針，并根據軟件中的標定模塊進(jìn)行快速標定，確保換針后的精度和重復性，減少維護煩惱。

磁吸針實(shí)物外觀(guān)圖（330μm量程）

典型應用

部分技術(shù)指標

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