中圖儀器SuperViewW1白光干涉微納米三維形貌一鍵測量?jì)x以白光干涉技術(shù)為原理，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類(lèi)型，讓3D測量變得簡(jiǎn)單。

SuperViewW1白光干涉微納米三維形貌一鍵測量?jì)x以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數和尺寸，典型結果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區域的面積和體積，特征圖形的位置和數量等等）。

產(chǎn)品功能

(1)設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能；

(3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能；

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

產(chǎn)品特點(diǎn)

參數測量：粗糙度、微觀(guān)輪廓尺寸、角度、面積、體積，一網(wǎng)打盡；

環(huán)境噪聲檢測：實(shí)時(shí)監測，納米波動(dòng)，也無(wú)可藏匿；

雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石"也能安然無(wú)恙；

自動(dòng)拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無(wú)縫"；

雙重振動(dòng)隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動(dòng)山搖，我自巋然不動(dòng)"。

應用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應用范例：

SuperViewW1白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

部分技術(shù)指標

如有疑問(wèn)或需要更多詳細信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。