以共聚焦技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器VT6000共聚焦測量顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器?？蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

性能特點(diǎn)

1）結構簡(jiǎn)單：儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內，亦可采用筆記本電腦驅動(dòng)，實(shí)現了“拎著(zhù)走"的便攜式設計；

2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現；

3）操作便捷：采用全電動(dòng)化設計，并可無(wú)縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風(fēng)格，實(shí)現了所見(jiàn)即所得的快速檢測效果；

4）采用自研的電動(dòng)鼻輪塔臺，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進(jìn)行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時(shí)也能應對。

共聚焦顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細節，顯示出精細的細節圖像。它具有直觀(guān)測量的特點(diǎn)，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務(wù)。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實(shí)現更準確的操作。

產(chǎn)品應用

近年來(lái)，隨著(zhù)科技的不斷發(fā)展，芯片制造業(yè)對產(chǎn)品的質(zhì)量要求越來(lái)越高，因此要求有更精密的測量?jì)x器來(lái)保證產(chǎn)品質(zhì)量，這樣才能讓制造業(yè)企業(yè)具有更強的競爭力。中圖的精密測量?jì)x器通過(guò)自主的軟件算法，結合精密設備的生產(chǎn)能力，把控著(zhù)產(chǎn)品品質(zhì)。

VT6000共聚焦測量顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理，結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測，對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿(mǎn)足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。