簡(jiǎn)要描述:在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中,VT6000共聚焦顯微3D測量?jì)x能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
詳細介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
中圖儀器VT6000系列共聚焦顯微3D測量?jì)x是以共聚焦技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數,從而實(shí)現器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量。
1)設備具備表征微觀(guān)形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;
2)設備具備自動(dòng)拼接功能,能夠快速實(shí)現大區域的拼接縫合測量;
3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件,預先設置好配置參數再進(jìn)行測量,軟件自動(dòng)統計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實(shí)現批量測量功能;
4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能;
5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現批量數據文件的快速分析功能;
在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中,VT6000共聚焦顯微3D測量?jì)x能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
型號:VT6100
行程范圍:100*100*100mm
視場(chǎng)范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量重復性(1σ):12nm
高度測量精度:± (0.2+L/100) μm
高度測量分辨率:0.5nm
寬度測量重復性(1σ):40nm
寬度測量精度:± 2%
寬度測量分辨率:1nm
外形尺寸:520×380×600mm
儀器重量:50kg
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