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白光干涉儀三維顯微鏡

簡(jiǎn)要描述:SuperViewW1白光干涉儀三維顯微鏡以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以?xún)?yōu)于納米級的分辨率,測試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。

  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2025-03-07
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1115

詳細介紹

品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
加工定制

SuperViewW1白光干涉儀三維顯微鏡以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以?xún)?yōu)于納米級的分辨率,測試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。


應用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。


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SuperViewW1白光干涉儀三維顯微鏡載物臺尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測量的Z向范圍可達10mm(2.5X鏡頭),Z向的精度可高達0.1nm??梢詼y到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標準行程為140*110mm,局部位移精度可達亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um,Z向掃描電機可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件。


新建項目3.jpg


行業(yè)應用

在3C領(lǐng)域,可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;

在LED行業(yè),可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;

在光纖通信行業(yè),可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;

在集成電路行業(yè),可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行業(yè),可以測量臺階高度和表面粗糙度;

在軍事領(lǐng)域,可以測量藍寶石觀(guān)察窗口表面粗糙度。


測量方法

1.點(diǎn)擊XY復位,使得鏡頭復位到載物臺中心

2.將被測物放置在載物臺夾具上,被測物中心大致和載物臺中心重合;

3.確認電機連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿(mǎn)足測量條件;

4.使用操縱桿搖桿旋鈕調節鏡頭高度,找到干涉條紋;

5.設置好掃描方式和掃描范圍;

6.點(diǎn)擊選項圖標,確認自動(dòng)找條紋上下限無(wú)誤;

7.點(diǎn)擊多區域測量圖標,可選擇方形和(橢)圓形兩種測量區域形狀;

8.根據被測物形狀和尺寸,"形狀"欄選擇“橢圓平面",X和Y方向按需設置;

9.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開(kāi)始"圖標,儀器即自動(dòng)完成多個(gè)區域的對焦、找條紋、掃面等操作。



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