一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

　　SuperView WX 100白光干涉測頭是一款非接觸式精密光學(xué)測頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學(xué)干涉系統和Z向掃描系統組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點(diǎn)，能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構的平臺上，在產(chǎn)線(xiàn)上對器件表面進(jìn)行自動(dòng)化形式的測量，直接獲取與表面質(zhì)量相關(guān)的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數。

二、產(chǎn)品功能

1、測量功能：能夠實(shí)現樣件表面的高精密Z向掃描，獲取3D圖像；

2、分析功能：能夠獲取關(guān)于表面質(zhì)量的粗糙度、微納級別的輪廓尺寸等2D、3D數據；

3、編程功能：支持預配置數據處理和分析工具步驟，一鍵完成測量到分析全過(guò)程；

4、批量分析：可根據需求參數定制數據處理和分析模板，針對同類(lèi)型參數數據實(shí)現一鍵批量分析；

三、應用領(lǐng)域

　　SuperView WX 100白光干涉測頭對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應用范例：

半導體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC

3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、金屬殼模具瑕疵、玻璃屏高度差

四、性能特色

1、便攜可搭載 *懸臂式結構，可方便地搭載在各類(lèi)龍門(mén)架構水平位移平臺上，通過(guò)軟件接口的連接，即可構成一臺可自動(dòng)測量的超高級精度的光學(xué)3D表面輪廓儀；

2、復合型掃描算法 結合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優(yōu)點(diǎn)的擴展型相移掃描重建算法，能夠適配 從超光滑到粗糙、光滑弧面等所有類(lèi)型樣品，一鍵掃描，無(wú)須切換算法；

3、防撞保護功能 Z向防撞傳感器，當鏡頭碰到樣件表面，進(jìn)入緊急停止狀態(tài)，不再下移；  

懇請注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內容可能會(huì )根據實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。