中圖儀器SJ6000國產(chǎn)單頻激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，它利用激光干涉現象來(lái)實(shí)現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。

SJ6000國產(chǎn)單頻激光干涉儀可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

工作原理

激光干涉儀利用激光光束的干涉原理來(lái)測量物體的形狀和表面的高度差異。其原理是基于兩束相干光在空間交叉的地方發(fā)生干涉，形成干涉條紋，通過(guò)測量干涉條紋的變化來(lái)推斷被測量物體的參數。

測量原理

激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量。相位測量是通過(guò)測量干涉條紋的相位差來(lái)計算被測量物體的形狀、位置等參數；位移測量是通過(guò)測量干涉條紋的位移來(lái)確定物體的位移量。這兩種測量原理在不同應用場(chǎng)景下有著(zhù)各自的優(yōu)勢和適用性。

產(chǎn)品特點(diǎn)

精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

功能廣

（1）可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

（3）可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

（5）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

軟件強

（1）友好的人機界面；

（2）豐富的應用功能模塊；

（3）向導式的操作流程；

（4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。

SJ6000激光干涉儀非接觸式、高精度的特點(diǎn)使其適用于各種復雜的運動(dòng)系統，不僅僅局限于運動(dòng)導軌，還可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設備性能，減少維護成本和停機時(shí)間，為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。

部分技術(shù)指標

主機

穩頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預熱時(shí)間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線(xiàn)性測量距離：(0~80)m (無(wú)需遠距離線(xiàn)性附件)

角度測量范圍：±10°

平面度測量范圍：±1.5mm

直線(xiàn)度測量范圍：±3mm

垂直度測量范圍：±3/M mm/m

便攜箱尺寸：613*460*230mm

標準配置重量：18kg

懇請注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內容可能會(huì )根據實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

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