激光干涉儀采用了激光干涉原理，將物體的微小變形轉化成光學(xué)信號，并通過(guò)計算機進(jìn)行數值化分析，實(shí)現高精度測量。主要用于測量物體的形態(tài)、表面形貌、薄膜厚度等。
 

　　它主要由激光器、分束器、反射鏡、光學(xué)系統、探測器、數據采集及處理系統等組成。在實(shí)際應用中，常用于表面形貌及薄膜厚度等微小變形的測量。其原理是將獲得的干涉圖像信號轉換成電信號，再進(jìn)行數字化后，通過(guò)數據處理系統進(jìn)行計算，從而獲得要測量的物體或表面形貌等參數。
 

　　與傳統的干涉儀相比，激光干涉儀的優(yōu)點(diǎn)在于，其不受各種環(huán)境因素的影響，如光的散射、折射、吸收和偏振等，其測量結果十分準確，可達到亞微米級甚至更高。此外，在測量非常小的尺寸或物體表面時(shí)，還可以實(shí)現非接觸式的測量。
 

　　它的應用涉及到多個(gè)領(lǐng)域，如半導體、光電子、納米材料、材料加工、機械制造等。在半導體領(lǐng)域，可用于測量晶圓、芯片和器件的厚度、曲率等參數，從而實(shí)現精密的加工控制。在光電子領(lǐng)域，可用于測量光學(xué)器件和光學(xué)透鏡的表面形態(tài)及微小變形等參數，從而優(yōu)化光學(xué)性能。在材料研究領(lǐng)域，可用于表征各種材料在應力、溫度或化學(xué)環(huán)境下的形貌變化，從而確定材料的性能和應用。在機械制造領(lǐng)域，可用于測量金屬、塑料、玻璃等物品的形位尺寸及表面形態(tài)，從而實(shí)現精密的加工控制。
 

　　其高精度、高分辨率的測量結果，為各種精細制造和納米技術(shù)提供了重要的支持和保障。隨著(zhù)技術(shù)的不斷創(chuàng )新和發(fā)展，激光干涉儀在未來(lái)還將有更廣泛的應用前景。