簡(jiǎn)要描述:中圖儀器SuperViewW多模式三維光學(xué)輪廓儀提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能和自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能。它基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數和尺寸。
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
中圖儀器SuperViewW多模式三維光學(xué)輪廓儀提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能和自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能。它基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數和尺寸。
針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿(mǎn)足的高精度、大掃描范圍的需求,中圖儀器SuperView W1的復合型EPSI重建算法,解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下,只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),即可自動(dòng)掃描,重建其超光滑的表面區域,不見(jiàn)一絲重疊縫隙。
(1)設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
(2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能;
(3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能;
(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;
(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
1、高精度、高重復性
1)采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統,保證測量精度高;
2)隔振系統,能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境中能穩定使用,獲得高測量重復性;
2、環(huán)境噪聲檢測功能
具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動(dòng)干擾,在設備調試、日常監測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數據作為支撐。
3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
4、雙重防撞保護措施
在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止狀態(tài),限度的保護儀器,降低人為操作風(fēng)險。
5、雙通道氣浮隔振系統
既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源也可以接入標配空壓機,在無(wú)外接氣源的條件下也可穩定工作。
SuperViewW多模式三維光學(xué)輪廓儀讓輪廓測量?jì)r(jià)格更為實(shí)惠,應用領(lǐng)域廣泛,操作簡(jiǎn)便,可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。它能夠以?xún)?yōu)于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌,廣泛應用于光學(xué),半導體,材料,精密機械等等領(lǐng)域,用于表面形貌紋理,微觀(guān)結構分析。
型號 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系統 | 1024×1024 | |
干涉物鏡 | 標配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
光學(xué)ZOOM | 標配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1× | |
標準視場(chǎng) | 0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學(xué)ZOOM 0.5×) | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移動(dòng)范圍 | 140×100㎜ | |
負載 | 10kg | |
控制方式 | 電動(dòng) | |
Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 電動(dòng) | |
臺階測量 | ||
可測樣品反射率 | 0.05%~100 | |
主機尺寸 | 700×606×920㎜ |
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