SuperViewW1光學(xué)三維輪廓測量?jì)x是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。數秒內可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見(jiàn)的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能軟件升級來(lái)組合多個(gè)影像以提供大面積測量。從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。

SuperViewW1光學(xué)三維輪廓測量?jì)x可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

產(chǎn)品功能

(1)設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能；

(3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能；

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應用范例：

產(chǎn)品特色（雙重防撞防護）

1、軟件防撞保護 ZSTOP

ZSTOP是是軟件設置在Z軸上的停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動(dòng)到該位置時(shí)，就立刻停止不再向下運動(dòng)，起到保護樣品和鏡頭的作用。

2、Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí)，觸發(fā)感應器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開(kāi)關(guān)，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護，守護設備和產(chǎn)品。

部分技術(shù)指標

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