SuperViewW1光學(xué)材料表面形貌測試儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以?xún)?yōu)于納米級的分辨率，測試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學(xué)，半導體，材料，精密機械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量?jì)x器。

SuperViewW1光學(xué)材料表面形貌測試儀結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量。

產(chǎn)品功能

(1)設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能；

(3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能；

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，局部位移精度可達亞微米級別，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，可測非常微小尺寸的器件；測量大尺寸樣品時(shí)，支持拼接功能，將測量的每一個(gè)小區域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

部分技術(shù)指標

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應用

在3C領(lǐng)域，可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；

在LED行業(yè)，可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；

在光纖通信行業(yè)，可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；

在集成電路行業(yè)，可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在EMES行業(yè)，可以測量臺階高度和表面粗糙度；

在軍事領(lǐng)域，可以測量藍寶石觀(guān)察窗口表面粗糙度。