中圖儀器3D光學(xué)白光干涉儀SuperViewW1基于白光干涉原理，不僅用于零件的檢測，還是一種在生產(chǎn)中用于檢測軋制產(chǎn)品表面缺陷的設備，能完成缺陷尺寸的在線(xiàn)檢測。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW13D光學(xué)白光干涉儀測量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?，確保了高款率檢測，具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

產(chǎn)品功能

1) 一體化操作的測量與分析軟件，操作無(wú)須進(jìn)行切換界面，預先設置好配置參數再進(jìn)行測量，軟件自動(dòng)統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實(shí)現批量測量功能。

2) 測量中提供自動(dòng)多區域測量功能、批量測量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化功能。

3) 測量中提供拼接測量功能。

4) 分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過(guò)濾頻譜等功能；提取包括提取區域和提取剖面等功能。

5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線(xiàn)粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線(xiàn)度、圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數和體積參數等功能。

分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設置分析模板，結合測量中提供的自動(dòng)測量和批量測量功能，可實(shí)現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。

測量單刻線(xiàn)臺階

在檢查SuperView W1白光干涉儀的各線(xiàn)路接頭都準確插到對應插孔后，開(kāi)啟儀器電源開(kāi)關(guān)，啟動(dòng)計算機，將單刻線(xiàn)臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動(dòng)調整載物臺大概位置，對準白光干涉儀目鏡的下方。

在計算機上打開(kāi)白光干涉儀測量軟件，在軟件界面上設置好目鏡下行的點(diǎn)，再微調鏡頭與被測單刻線(xiàn)臺階表面的距離，調整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時(shí)設置好要掃描的距離。按開(kāi)始按鈕，白光干涉儀可自動(dòng)進(jìn)行掃描測量，測量完成后，轉件自動(dòng)生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進(jìn)行數據分析，獲得被測器件表面線(xiàn)、面粗糙度和輪廓的2D、0D參數。