中圖SuperViewW1三維光學(xué)表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量，通過(guò)利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

產(chǎn)品功能

1）設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能；

3）測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應用領(lǐng)域

SuperViewW1三維光學(xué)表面輪廓儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

輪廓分析步驟

1.將樣品放置在載物臺鏡頭下方；

2.檢查電機連接和環(huán)境噪聲，確認儀器狀態(tài)；

3.使用操縱桿調節Z軸，找到樣品表面干涉條紋；

4.微調XY軸，找到待測區域，并重新找到干涉條紋；

5.完成掃描設置和命名等操作；

6.點(diǎn)擊開(kāi)始測量（進(jìn)入3D視圖窗口旋轉調整觀(guān)察一會(huì )）；

7.臺階樣品分析第一步：校平；

8.進(jìn)入數據處理界面，點(diǎn)擊“校平"圖標，和平面樣品不同，臺階樣品需手動(dòng)選取基準區域，選好基準區域后，先“全部排除"再“包括"；

9.若樣品表面有好幾處區域均為平面且高度一致，可多選擇幾個(gè)區域作為基準面進(jìn)行校平；

10.臺階高度測量：線(xiàn)臺階高度測量

11.進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“臺階高度"圖標，即可直接獲取自動(dòng)檢測狀態(tài)下的面臺階高度相關(guān)數據；

12.在右側點(diǎn)擊“手動(dòng)檢測"，根據需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區域，數據欄可直接讀取兩個(gè)區域的面臺階高度數值；

13.臺階高度測量：線(xiàn)臺階高度測量

14.進(jìn)入數據處理界面，點(diǎn)擊“提取剖面"圖標，使用合適方向的剖面線(xiàn)，提取目標位置的剖面輪廓曲線(xiàn)；

15.進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“臺階高度"圖標，由于所測為中間凹槽到兩側平面高度，因此點(diǎn)擊右側工具欄，測量條對數選擇“2"，將紅色基準線(xiàn)對放置到凹槽平面中間，兩對測量線(xiàn)對分別放置在兩側平面，即可在數據纜讀取臺階高度數據。