SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀中圖儀器由照明光源系統，光學(xué)成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。與臺階儀相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：

一是非接觸高精密測量，不會(huì )劃傷甚至破壞工件；

二是測量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量；

三是不必作探頭半徑補正，光點(diǎn)位置就是工件表面測量的位置；

四是對高深寬比的溝槽結構，可以快速而精確的得到理想的測量結果。

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀中圖儀器的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統的配合下，分辨率可達0.1nm。載物臺尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）；測量的Z向范圍可達10mm（2.5X鏡頭），Z向的精度可高達0.1nm。

產(chǎn)品功能

1）設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能；

3）測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

可測各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等參數，廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。