SuperViewW系列高精密光學(xué)輪廓測量?jì)x又叫白光干涉儀，它是以白光干涉技術(shù)為原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，能夠以?xún)?yōu)于納米級的分辨率，測試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學(xué)，半導體，材料，精密機械等等領(lǐng)域的非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量?jì)x器。

性能特色

1、高精度、高重復性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高；

2）隔振系統能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境中能穩定使用，獲得高測量重復性；

2、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無(wú)須切換，測量數據自動(dòng)統計，實(shí)現了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口，便于用戶(hù)實(shí)時(shí)觀(guān)察掃描過(guò)程；

3）結合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能，可自動(dòng)完成多區域的測量與分析過(guò)程；

4）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；

6）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止狀態(tài)，最大限度的保護儀器，降低人為操作風(fēng)險。

5、雙通道氣浮隔振系統

既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源也可以接入標配空壓機，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩定工作。

SuperViewW系列高精密光學(xué)輪廓測量?jì)x由照明光源系統，光學(xué)成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。