光學(xué)輪廓測量?jì)x是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域，其它儀器達不到檢測的精度要求。中圖儀器SuperViewW1非接觸式三維光學(xué)輪廓儀器的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統的配合下，分辨率可達0.1nm。

優(yōu)點(diǎn)

一是非接觸高精密測量，不會(huì )劃傷甚至破壞工件；

二是測量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量；

三是不必作探頭半徑補正，光點(diǎn)位置就是工件表面測量的位置；

四是對高深寬比的溝槽結構，可以快速而精確的得到理想的測量結果。

技術(shù)參數

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱(chēng)：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動(dòng)

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100

水平調整：±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測，一鍵分析、測量速度快

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋?zhuān)焊嘣敿毊a(chǎn)品信息，請聯(lián)系我們獲取

SuperViewW1非接觸式三維光學(xué)輪廓儀器由照明光源系統，光學(xué)成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。雙通道氣浮隔振系統的設計，既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩定工作，可以有效隔絕地面傳導的振動(dòng)，同時(shí)內部隔振系統能夠有效隔絕聲波振動(dòng)，確保儀器在車(chē)間也能正常工作。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。