3d光學(xué)輪廓測量?jì)x可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，能達到微型范圍內重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類(lèi)精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中。

SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

可測各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。

對兩臺階高的檢測

藍寶石玻璃的光面和糙面的粗糙度

玻璃屏表面粗糙度檢測

3d光學(xué)輪廓測量?jì)x主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量，可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。

SuperView1光學(xué)3D表面輪廓儀參數

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱(chēng)：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動(dòng)

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100%

水平調整：±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋?zhuān)焊嘣敿毊a(chǎn)品信息，請聯(lián)系我們獲取