中圖儀器光學(xué)表面輪廓測量?jì)x可以在無(wú)外接氣源的條件下可穩定工作，在車(chē)間也能正常工作。因為其雙通道氣浮隔振系統設計，既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，也可以有效隔絕地面傳導的振動(dòng)，同時(shí)內部隔振系統能夠有效隔絕聲波振動(dòng)。

重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統的配合下，分辨率可達0.1nm。

產(chǎn)品參數

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動(dòng)

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

影像系統：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

可測樣品反射率：0.05%-100%

水平調整：±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復性：0.005nm

主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測，一鍵分析，測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋?zhuān)焊嘣敿毊a(chǎn)品信息，請聯(lián)系我們獲取

深圳市中圖儀器股份有限公司是國家高新技術(shù)企業(yè)，致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐，專(zhuān)業(yè)覆蓋面廣，專(zhuān)項技術(shù)能力強，具備了從納米到百米為用戶(hù)提供精密測量解決方案的能力。

【應用】

應用案例：手機曲面屏玻璃的檢測

各種光學(xué)鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物，其表面質(zhì)量等級非常高。如果采用接觸式的輪廓儀，會(huì )劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學(xué)影像方法，也沒(méi)有辦法克服它的高透明度特性。中圖儀器SuperViewW1為玻璃和光學(xué)鏡片的表面質(zhì)量提供了標準解決方案。

生活中智能手機、平板電腦、智能手表等日常的智能產(chǎn)品中常見(jiàn)的玻璃屏，需要對其表面粗糙度和輪廓進(jìn)行檢測。以手機玻璃屏為例：

玻璃屏表面粗糙度檢測

中圖儀器以白光干涉測量技術(shù)為基礎而研發(fā)生產(chǎn)出的SuperViewW1光學(xué)表面輪廓測量?jì)x對產(chǎn)品進(jìn)行高品質(zhì)監控時(shí)不需要取下產(chǎn)品或停止生產(chǎn)，而且采用的是非接觸式光學(xué)測量，在獲得實(shí)時(shí)數據的同時(shí)，不會(huì )對產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線(xiàn)檢測，沒(méi)有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。