SuperView W3 非接觸光學(xué)輪廓儀可對測試樣品的表面微納形貌特征進(jìn)行測量和分析，具有測量準確度高、應用范圍廣、智能化水平高等特點(diǎn)。產(chǎn)品經(jīng)深圳市計量質(zhì)量檢測研究院計量校準，技術(shù)指標參數滿(mǎn)足相關(guān)標準要求。

產(chǎn)品參數

產(chǎn)品型號：SuperView W3

產(chǎn)品名稱(chēng)：白光干涉儀

原理：非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置：長(cháng)范圍，Z軸納米光柵控制

物鏡：Nikon，10×無(wú)限遠共軛干涉物鏡

物鏡座：5孔電動(dòng)物鏡塔臺（標準）

測量陣列：1024*1024，工業(yè)級相機

Z軸：100mm行程，納米位移閉環(huán)反饋

安全性：系統集成緊急制動(dòng)功能

樣品臺：0.1nm電動(dòng)，俯仰傾斜±6°，電動(dòng)調節，XY行程300*300；尺寸450*450mm，亞微米閉環(huán)反饋

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

技術(shù)指標

光學(xué)規格

SuperView W3 光學(xué)3D表面輪廓儀基于白光干涉儀原理研制而成，采用擴展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到湖面等各種表面類(lèi)型，讓3D測量變得簡(jiǎn)單。

產(chǎn)品配置

產(chǎn)品特點(diǎn)

1）參數測量：粗糙度、微觀(guān)輪廓尺寸、角度、面積、體積、一網(wǎng)打盡；

2）環(huán)境噪聲監測：實(shí)時(shí)監測，納米波動(dòng)，也無(wú)可藏匿；

3）雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石"也能安然無(wú)恙；

4）自動(dòng)拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無(wú)縫"；

5）雙重振動(dòng)隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動(dòng)山搖，我自巋然不動(dòng)"。

白光干涉全自動(dòng)光學(xué)3D表面輪廓儀是深圳市中圖儀器股份有限公司針對垂直掃描測量均勻采樣、環(huán)境干擾、中心波長(cháng)標定、干涉條紋探測等技術(shù)難題，開(kāi)展白光干涉垂直掃描光學(xué)系統優(yōu)化設計、宏微驅動(dòng)掃描技術(shù)、抗振動(dòng)結構系統、高精度三維重建算法和測量分析軟件系統等關(guān)鍵技術(shù)研究。突破了雙模式復合三維測量光學(xué)測量技術(shù)，開(kāi)發(fā)一種可同時(shí)實(shí)現白光干涉、聚焦成像的三維輪廓測量復合光學(xué)測量裝置，擴展測量?jì)x器測量能力及應用范圍；攻克融合小波變換、正交解調的三維重建技術(shù)，開(kāi)發(fā)干涉條紋自動(dòng)搜索技術(shù)，較好地抑制非均勻采樣、環(huán)境振動(dòng)干擾等因素的影響；研發(fā)雙通道氣浮振動(dòng)隔離技術(shù)并設計氣浮隔振系統，提高測量系統的抗振動(dòng)能力。

SuperView W3 非接觸光學(xué)輪廓儀具有創(chuàng )新性，在雙光路復合三維測量光學(xué)系統集成設計及全自動(dòng)找尋干涉條紋方法方面達到不錯的水平。如今產(chǎn)品已產(chǎn)業(yè)化，在高?？蒲性核?、3C消費類(lèi)電子、超精密光學(xué)加工、半導體制造及封裝工藝檢測企業(yè)、MEMS器件、微納材料及制造、航天軍工等先進(jìn)制造的各個(gè)領(lǐng)域得到應用，反映良好，取得顯著(zhù)的社會(huì )經(jīng)濟效益和生態(tài)環(huán)境效益。