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Bump是一種金屬凸點(diǎn)，從倒裝焊FlipChip出現就開(kāi)始普遍應用，Bump的形狀有多種，最常見(jiàn)的為球狀和柱狀，也有塊狀等其他形狀，下圖所示為各種類(lèi)型的Bump。粗糙度測量設備

SuperViewW1表面輪廓粗糙度儀測量單個(gè)精細器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?，確保了高款率檢測。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。是一款對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的光學(xué)儀器。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)粗糙度測量?jì)x以白光干涉技術(shù)為原理，具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SJ57系列表面粗糙度測量?jì)x器采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統、超高直線(xiàn)度研磨級摩擦導軌、高性能直流伺服驅動(dòng)系統、高穩定性氣浮隔振系統、高性能計算機控制系統技術(shù)，實(shí)現對球面及非球面光學(xué)元器件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。

SuperViewW1表面粗糙度光學(xué)測量?jì)x采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件，采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進(jìn)行驗收，其中臺階高標準片高度在4.7um左右，測量精度要求為0.75%，重復精度要求0.1%（1σ）（測量15次獲取的數據標準差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量，主要測量參數為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。

大量程粗糙度測量?jì)x是一款表面粗糙度測量?jì)x器；采用進(jìn)口高精度光柵測量系統、高精度研磨導軌、高性能非接觸直線(xiàn)電機、音圈電機測力系統、高性能粗糙度測量模塊、高性能計算機控制系統技術(shù)，實(shí)現對各種工件表面粗糙度的測量和分析