簡(jiǎn)要描述:中圖儀器激光干涉儀采用美國進(jìn)口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術(shù),實(shí)現各種參數的高精度測量。
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品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
一.中圖儀器激光干涉儀顯著(zhù)特點(diǎn)
1.測量精度高、速度快,穩定性好
①使用高性能氦氖激光器,結合伺服穩頻控制系統,達到高精度穩頻(0.05ppm)
②以光波長(cháng)(633nm)為測量單位,分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù),測量速度可達到4m/s。
④配合有環(huán)境補償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設計,避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
①可以實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結合我們的軟件系統,可以用于速度,加速度,振動(dòng)分析以及穩定度等分析
③可實(shí)時(shí)監控精密加工機床等機器的動(dòng)態(tài)數據,進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門(mén)的軟件界面開(kāi)發(fā)工具,軟件界面人性化,操作簡(jiǎn)單。
②將靜態(tài)測量和動(dòng)態(tài)測量?jì)煞N功能合并到一個(gè)軟件中,更方便用戶(hù)切換測量類(lèi)型。
③向導式操作,流程清晰,更符合國內用戶(hù)的使用習慣。
4 性?xún)r(jià)比高
性能達到了國外儀器的水準,價(jià)格是國內儀器的良心價(jià)。
二.中圖儀器激光干涉儀功能
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、zui高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結合,可以實(shí)現對直線(xiàn)度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數控機床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測,如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量,可以進(jìn)行機床振動(dòng)測試與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅動(dòng)系統的響應特性分析,導軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,具有*的精度和效率,而且及時(shí)處理數據,為機床誤差修正提供依據。
三.執行標準
ISO230-2 | 老版標準 |
ISO230-1997 | 新版標準 |
ANSI B5.54 | 美國國家標準 |
ASME B89.1.12M | 美國機械工程師協(xié)會(huì )標準 |
NMTBA | 美國機床協(xié)會(huì )標準 |
BS 3800 | 英國機床標準 |
BS 4656 | 英國三測機標準 |
JIS B6330 | 日本國家標準 |
GB 17421-2000 | 中國國家標準 |
VDI 3441 | 德國機床標準 |
四.中圖激光干涉儀技術(shù)參數
測量方式:?jiǎn)晤l
穩頻精度:0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz
預熱時(shí)間:5-10分鐘
工作溫度范圍:0~40℃
環(huán)境溫度范圍:0~40℃
存儲溫度范圍:-20℃~70℃
空氣溫度傳感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器:±1mBar (650-1150mbar)
測量距離:0-40m
測量精度:0.5ppm (0-40℃)
測量分辨率:1nm
測量zui大速度:4m/sec
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