一.中圖儀器激光干涉儀顯著(zhù)特點(diǎn)

1.測量精度高、速度快，穩定性好

①使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

②以光波長(cháng)(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達到4m/s。

④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩定度等分析

③可實(shí)時(shí)監控精密加工機床等機器的動(dòng)態(tài)數據，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門(mén)的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。

②將靜態(tài)測量和動(dòng)態(tài)測量?jì)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶(hù)切換測量類(lèi)型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶(hù)的使用習慣。

4 性?xún)r(jià)比高

性能達到了國外儀器的水準，價(jià)格是國內儀器的良心價(jià)。

二.中圖儀器激光干涉儀功能

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、zui高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結合，可以實(shí)現對直線(xiàn)度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數控機床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量，可以進(jìn)行機床振動(dòng)測試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅動(dòng)系統的響應特性分析，導軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，而且及時(shí)處理數據，為機床誤差修正提供依據。

三.執行標準

四.中圖激光干涉儀技術(shù)參數

• 測量方式：?jiǎn)晤l

• 穩頻精度：0.05ppm

• 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

• 預熱時(shí)間：5-10分鐘

• 工作溫度范圍：0~40℃

• 環(huán)境溫度范圍：0~40℃

• 存儲溫度范圍：-20℃~70℃

• 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

• 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

• 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

• 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

• 測量距離：0-40m

• 測量精度：0.5ppm (0-40℃)

• 測量分辨率：1nm

• 測量zui大速度：4m/sec