PLR3000系列光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設備，基于激光干涉測量原理，專(zhuān)為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設計。其突破性技術(shù)融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量，分辨率可達10nm，線(xiàn)性精度高達0.2ppm，為復雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準、可靠的位置反饋與控制。

PLR3000系列光纖激光尺配置高穩定氦氖激光光源，激光通過(guò)保偏光纖引導，用戶(hù)可輕松將干涉儀配置到任意需要測量位置，最大限度減小阿貝誤差?？筛鶕脩?hù)需求，配置單軸、雙軸以及三軸輸出，輕松實(shí)現多軸測量或多自由度測量。同時(shí)提供多種干涉探頭配置，用戶(hù)可根據實(shí)際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無(wú)內置干涉鏡組的測量探頭，滿(mǎn)足用戶(hù)各種復雜場(chǎng)景應用。

核心優(yōu)勢

1. 高精度

（1）分辨率10nm（可拓展），線(xiàn)性測量精度0.2ppm，穩頻精度0.02ppm，滿(mǎn)足納米級測量需求。

（2）環(huán)境氣象站實(shí)時(shí)補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數據長(cháng)期穩定。

2. 靈活配置

（1）支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實(shí)現多自由度測量。

（2）可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復雜場(chǎng)景。

3. 高穩定性與便捷性

（1）激光光源與探頭分離設計，3米鎧裝光纖連接，避免設備散熱干擾，安裝靈活。

（2）體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風(fēng)險。

4. 廣泛適用性

大量程4米（可拓展），支持動(dòng)態(tài)速度達2m/s，覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運動(dòng)場(chǎng)景。

典型應用場(chǎng)景

半導體制造：光刻機晶圓定位、精密工件臺反饋控制。

航空航天：發(fā)動(dòng)機葉片形變檢測、高精度裝配校準。

精密加工：數控機床多軸聯(lián)動(dòng)位置反饋、微機械元件測量。

科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺穩定性監測、超精密實(shí)驗設備控制。

服務(wù)與支持

定制化方案：根據需求提供探頭配置、量程拓展、環(huán)境補償單元等靈活選配。

專(zhuān)業(yè)認證：提供中國計量院或深圳市計量院出具的激光校準證書(shū)，確保數據性。

全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò )：1年質(zhì)保，技術(shù)支持團隊7×24小時(shí)響應，快速解決現場(chǎng)問(wèn)題。