中圖儀器SJ6000高精度環(huán)境補償激光干涉儀采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償。儀器配備的EC20環(huán)境補償單元，由環(huán)境補償主機（內置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個(gè)材料溫度傳感器組成，可實(shí)現對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實(shí)時(shí)高精度檢測。

SJ6000高精度環(huán)境補償激光干涉儀結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

（3）可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

（5）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

測量案例

SJ6000激光干涉儀為機床機定位誤差（螺距補償）、反向間隙修正提供依據。操作人員通過(guò)定每個(gè)機床軸的補償值來(lái)消除機床定位系統中的定位誤差。后期通過(guò)對機床軸的補償，可以將誤差降低到幾乎為零的程度，大大提高機床作業(yè)精度。補償時(shí)需要先獲得正確的誤差補償值，操作人員需在軸上的不同點(diǎn)測量機床的預期位置和實(shí)際位置之間的微小差異。

進(jìn)行重復定位測量前，需要使用附件里的兩個(gè)外加螺絲將其中一個(gè)線(xiàn)性反射鏡安裝在分光鏡上，這個(gè)組合裝置稱(chēng)為“線(xiàn)性干涉鏡"。線(xiàn)性干涉鏡放置在激光器和線(xiàn)性反射鏡之間的光路上，用它的反射光線(xiàn)形成激光光束的參考光路。另一束光通過(guò)分光鏡入射到線(xiàn)性反射鏡，通過(guò)線(xiàn)性反射鏡的移動(dòng)來(lái)實(shí)現線(xiàn)性定位測量。

使用激光干涉儀測量定位誤差，并用檢定軟件進(jìn)行記錄，可以輕松獲取軸上多點(diǎn)測量的誤差表。這些誤差能夠被轉譯成補償值，在相應機床控制器軟件位置進(jìn)行補償值的寫(xiě)入，實(shí)現機床的定位誤差補償（螺距補償）、反向間隙補償。

對數控機床進(jìn)行螺距誤差補償

EC20環(huán)境補償單元

EC20環(huán)境補償單元在出廠(chǎng)前，會(huì )依照相關(guān)計量標準對各環(huán)境參量進(jìn)行精確校準，通常情況下建議24個(gè)月校準一次。

在使用EC20環(huán)境補償單元過(guò)程中，在不影響測量光路和被測物體運動(dòng)的前提下，建議將環(huán)境補償主機和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置。至于材料溫度探頭該如何布置或應用，則需分不同的測量場(chǎng)合與不同的被測對象。

環(huán)境補償單元技術(shù)指標

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

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