簡(jiǎn)要描述:VT6000共聚焦工件表面微觀(guān)形貌檢測顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。它在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中,測各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等參數。
詳細介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
中圖儀器VT6000共聚焦工件表面微觀(guān)形貌檢測顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。它在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中,測各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等參數。
1)3D測量功能:設備具備表征微觀(guān)3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;
2)影像測量功能:設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,可進(jìn)行長(cháng)度、角度、半徑等尺寸測量;
3)自動(dòng)拼接功能:設備具備自動(dòng)拼接功能,能夠實(shí)現大區域的拼接縫合測量;
4)數據處理功能:設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能;
5)分析工具功能:設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)批量分析功能:設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現批量數據文件的快速分析功能;
7)便捷操作功能:設備配備操縱桿,支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調節、光源亮度調節、急停等;
8)光源安全功能:光源設置無(wú)人值守下的自動(dòng)熄燈功能,當檢測到鼠標軌跡長(cháng)時(shí)間未變動(dòng)后會(huì )自主降低熄滅光源,防止光源高亮過(guò)熱損壞,并有效延長(cháng)光源使用壽命;
9)鏡頭安全功能:設備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結構設計,確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,進(jìn)入急停狀態(tài),大幅減小碰撞沖擊力,有效保護鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風(fēng)險。
VT6000共聚焦工件表面微觀(guān)形貌檢測顯微鏡具有很強的縱向深度的分辨能力。在相同物鏡放大的條件下,共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節更清晰更微細,橫向分辨率更高,能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀(guān)察。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
1、鐳射槽
測量晶圓上激光鐳射槽的深度:半導體后道制造中,在將晶圓分割成一片片的小芯片前,需要對晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割,為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,會(huì )先采用激光切割機在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導槽,在工藝上需要對引導槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測。
2、光伏
在太陽(yáng)能電池制作工程中,柵線(xiàn)的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導電能力,直接影響著(zhù)太陽(yáng)能電池的性能。共聚焦顯微鏡可以對柵線(xiàn)進(jìn)行快速檢測。此外,太陽(yáng)能電池制作過(guò)程中,制絨作為關(guān)鍵核心工藝,金字塔結構的質(zhì)量影像減反射焰光效果,是光電轉換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力,能夠對電池板絨面這種表面反射率低且形貌復雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建。
3、其他
自設計之初,VT6000便定下了“簡(jiǎn)單好用"四字方針的目標。
1)結構簡(jiǎn)單:儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成,控制單元集成在設備主機之內,亦可采用筆記本電腦驅動(dòng),實(shí)現了“拎著(zhù)走"的便攜式設計;
2)真彩圖像:配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節的展現纖毫畢現;
3)操作便捷:采用全電動(dòng)化設計,并可無(wú)縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設計風(fēng)格,實(shí)現了所見(jiàn)即所得的快速檢測效果;
4)采用自研的電動(dòng)鼻輪塔臺,并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進(jìn)行了優(yōu)化,確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時(shí)也能應對。
型號 | VT6100 | |
行程范圍 | X | 100mm |
Y | 100mm | |
Z | 100mm | |
外形尺寸 | 520*380*600mm | |
儀器重量 | 50kg | |
測量原理 | 共聚焦光學(xué)系統 | |
顯微物鏡 | 10×;20×;50×;100× | |
視場(chǎng)范圍 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | |
高度測量 | 重復性(1σ) | 12nm |
顯示分辨率 | 0.5nm | |
寬度測量 | 重復性(1σ) | 40nm |
顯示分辨率 | 1nm | |
XY位移平臺 | 負載 | 10kg |
控制方式 | 電動(dòng) | |
Z0軸掃描范圍 | 10mm | |
物鏡塔臺 | 5孔電動(dòng) | |
光源 | 白光LED |
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