國產(chǎn)機床激光干涉儀sj6000除了環(huán)境適應能力好，還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測量，選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動(dòng)幅度、平面度、線(xiàn)速度、角速度等。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

國產(chǎn)機床激光干涉儀sj6000具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

功能特點(diǎn)

1、精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

2、功能廣

（1）可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

（3）可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

（5）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

3、軟件強

（1）友好的人機界面；

（2）豐富的應用功能模塊；

（3）向導式的操作流程；

（4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

線(xiàn)性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動(dòng)化設備、線(xiàn)性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測量。

激光干涉儀對機床精度再校準

任何機床加工設備，在長(cháng)時(shí)間的使用都會(huì )由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發(fā)生。一般出現這種情況時(shí)，就需要使用激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準，SJ6000激光干涉儀可同時(shí)測量出機床的螺距誤差值和反向間隙（又稱(chēng)背隙），通過(guò)精度再校準，加工精度會(huì )大大提高。

激光干涉儀在機床維修后的重新測量和補償

當機床大修過(guò)后，裝配上的精度和位置都有變化，此時(shí)就需要再重新進(jìn)行螺距誤差補償。

在安裝絲桿中，絲桿鎖緊螺母擰得很緊，絲桿預拉過(guò)大，絲桿將被拉長(cháng)，螺距變長(cháng)，這在起點(diǎn)處影響較小，但在接近終點(diǎn)處因螺距積累誤差，將會(huì )產(chǎn)生較大的位置誤差。同樣預拉過(guò)小，也會(huì )發(fā)生螺距變小。

在裝絲桿軸承座時(shí)，一定要將錐銷(xiāo)敲到位，否則絲桿整體與導軌不平行，螺距變小，此時(shí)就可以通過(guò)SJ6000激光干涉儀來(lái)測量，進(jìn)行正確的螺距誤差補償，使設備精度達到要求。

激光干涉儀對機床定期檢測、補償

隨著(zhù)數控機床的不斷使用，機床不斷產(chǎn)生磨損，精度就會(huì )產(chǎn)生變化，此時(shí)就需要對機床進(jìn)行一個(gè)定期的維護保養，延長(cháng)機床使用壽命。首先維護保養機床的幾何精度，其次是定位精度，這時(shí)候就需要激光干涉儀進(jìn)行檢測補償。

部分技術(shù)指標

主機

穩頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預熱時(shí)間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線(xiàn)性測量距離：(0~80)m (無(wú)需遠距離線(xiàn)性附件)

角度測量范圍：±10°

平面度測量范圍：±1.5mm

直線(xiàn)度測量范圍：±3mm

垂直度測量范圍：±3/M mm/m

便攜箱尺寸：613*460*230mm

標準配置重量：18kg

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