簡(jiǎn)要描述:SuperViewW1光學(xué)粗糙度輪廓儀可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應用領(lǐng)域廣泛,操作簡(jiǎn)便,可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數??梢杂糜跍y試各類(lèi)表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于測試直至100反射率的各類(lèi)高反表面。
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
中圖儀器SuperViewW1光學(xué)粗糙度輪廓儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,可測各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。
在半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
應用范例:
SuperViewW1光學(xué)粗糙度輪廓儀可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應用領(lǐng)域廣泛,操作簡(jiǎn)便,可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數??梢杂糜跍y試各類(lèi)表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于測試直至100反射率的各類(lèi)高反表面。
(1)設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
(2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能;
(3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能;
(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;
(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
1、高精度、高重復性
1)采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統,保證測量精度高;
2)隔振系統,能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境中能穩定使用,獲得高測量重復性;
2、環(huán)境噪聲檢測功能
具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動(dòng)干擾,在設備調試、日常監測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數據作為支撐。
3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
4、雙重防撞保護措施
在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止狀態(tài),最大限度的保護儀器,降低人為操作風(fēng)險。
5、雙通道氣浮隔振系統
既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源也可以接入標配空壓機,在無(wú)外接氣源的條件下也可穩定工作。
型號 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系統 | 1024×1024 | |
干涉物鏡 | 標配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
光學(xué)ZOOM | 標配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1× | |
標準視場(chǎng) | 0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學(xué)ZOOM 0.5×) | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移動(dòng)范圍 | 140×100㎜ | |
負載 | 10kg | |
控制方式 | 電動(dòng) | |
Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 電動(dòng) | |
臺階測量 | ||
可測樣品反射率 | 0.05%~100% | |
主機尺寸 | 700×606×920㎜ |
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