中圖儀器SJ6000機床激光干涉儀品牌激光干涉儀具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強等優(yōu)點(diǎn)。在計量領(lǐng)域中可作為長(cháng)度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動(dòng)化、機器人、3D打印等領(lǐng)域。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

線(xiàn)性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動(dòng)化設備、線(xiàn)性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測量。

產(chǎn)品功能

可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

可實(shí)現龍門(mén)機床雙軸同步測量；

可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；

支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

測量軟件

（1）友好的人機界面；

（2）豐富的應用功能模塊；

（3）向導式的操作流程；

（4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。

SJ6000機床激光干涉儀品牌除了環(huán)境適應能力好，還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測量，選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動(dòng)幅度、平面度、線(xiàn)速度、角速度等。如回轉軸精度測量，需要轉臺附件（XR20-W）配合使用，此外還需要使用角度干涉鏡。如果使用的是有線(xiàn)轉臺附件（RX10），則還需要使用角度反射鏡。