SJ6000光學(xué)干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，以光波為載體，其光波波長(cháng)可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標準，是高精度、高靈敏度的測量?jì)x器。測量分辨率可達0.01″，系統測量精度為±1″，基準WR50自動(dòng)精密轉臺重復精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉臺、SJ6000回轉軸測量軟件構成。

產(chǎn)品功能

(1)可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

(2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

(3)可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

(4)可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

(5)具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；

(6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

精度高

SJ6000光學(xué)干涉儀采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

激光干涉儀對機床運動(dòng)導軌和滾珠絲桿的各項參數檢測分析、校準補償的重要性，而機床在裝配、加工、生產(chǎn)的同時(shí)需要頻繁的使用到激光干涉儀，來(lái)進(jìn)行多種幾何量精度參數的測量以及動(dòng)態(tài)性能的測試、分析。從宏觀(guān)角度來(lái)講，激光干涉儀對機床工具產(chǎn)業(yè)乃至整個(gè)制造工業(yè)的升級，都是功不可沒(méi)的。