SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀品牌是一個(gè)交流測試系統，當激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會(huì )受光強變化影響發(fā)生變化，也不會(huì )因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強，精度高，測量結果可靠，在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應用。

典型應用

1.數控機床的線(xiàn)性測量；

2.線(xiàn)性模組的定位精度測量；

3.實(shí)驗室作為長(cháng)度基準；

4.數控機床傾斜軸的線(xiàn)性測量；

5.小角度測量；

6.直驅電機的角度測量；

7.直線(xiàn)導軌的平行度測量；

8.設備直線(xiàn)度測量；

9.大理石平臺的平面度測量；

10.三坐標的垂直度測量；

11.設備導軌垂直度測量；

12.雙軸測量。

SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

測量精度高、速度快，穩定性好

①使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)；

②以光波長(cháng)(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級；

③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達到4m/s；

④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度；

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變。

應用范圍廣

①SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀品牌可以實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測；

②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩定度等分析；

③可實(shí)時(shí)監控精密加工機床等機器的動(dòng)態(tài)數據，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析。