激光干涉儀檢測機床各項誤差是一種用傳統測量手段難以實(shí)現的技術(shù)。

SJ6000激光干涉測量?jì)x采用高速干涉信號采集、調理及細分技術(shù)，可實(shí)現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高性能計算機控制系統及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡(jiǎn)潔化的記錄管理。

在數控機床精度測量方面，豐富的模塊化組件可根據具體測量需求而選擇，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。廣泛應用于精密檢測儀器、機床、3D打印設備、自動(dòng)化設備、線(xiàn)性位移平臺、三坐標、機器人、精密機械設備等領(lǐng)域的線(xiàn)性測量。

測量機床直線(xiàn)度

測量機床偏擺角度

自動(dòng)化設備精度測量

SJ6000激光干涉測量?jì)x具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。通過(guò)與不同的光學(xué)鏡組結合，還實(shí)現對線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。

注意事項

對角線(xiàn)測量套裝配置需求：對角線(xiàn)測量套裝＋可調轉向鏡

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線(xiàn)度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組

長(cháng)垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長(cháng)直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組

直線(xiàn)度附件：主要應用于Z軸的直線(xiàn)度測量和垂直度測量