中圖儀器3d形貌輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級數據處理與分析的光學(xué)測量?jì)x器?？蓽y各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等參數。

粗糙度分析操作步驟：

1. 將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態(tài)穩定；

2. 將夾具放置在載物臺上；

3. 檢查電機連接和環(huán)境噪聲，確認儀器狀態(tài)；

4. 使用操縱桿調節三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；

5. 完成掃描設置和命名等操作；

6. 點(diǎn)擊開(kāi)始測量（進(jìn)入3D視圖窗口旋轉調整觀(guān)察一會(huì )）；

7. 進(jìn)入數據處理界面，點(diǎn)擊“去除外形"，采用默認參數，點(diǎn)擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓；

8. 進(jìn)入分析工具模塊，點(diǎn)擊參數分析，直接獲取面粗糙度數據，點(diǎn)擊右側參數標準可更換參數標準，增刪參數類(lèi)型；

9. 如果想獲取線(xiàn)粗糙度數據，則需提取剖面線(xiàn)；

10. 進(jìn)入數據處理界面，點(diǎn)擊“提取剖面"圖標，選擇合適方向剖面線(xiàn)進(jìn)行剖面輪廓提??；

11. 進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“參數分析"圖標，點(diǎn)擊右側參數標準，勾選所需線(xiàn)粗糙度相關(guān)參數，即可獲取線(xiàn)粗糙度Ra數據。

應用

微光學(xué)器件粗糙度

光學(xué)鏡片表面粗糙度測量

手機配件表面粗糙度輪廓測量

中圖儀器3d形貌輪廓儀雙重防撞保護措施

（1）軟件防撞保護ZSTOP

即在Z軸上設置停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動(dòng)到該位置時(shí)，就立刻停止不再向下運動(dòng)，起到保護樣品和鏡頭的作用。

（2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí)，觸發(fā)感應器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開(kāi)關(guān)，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷。