中圖儀器激光干涉儀器設備采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強，降低了對環(huán)境條件的要求，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此使它不僅能用于實(shí)驗室，還可在車(chē)間條件下測量大距離用。

系統組件

1、激光主機

精準——激光頻率穩定度高，可溯源至國家標準。

SJ6800激光主機由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。

支持USB通信接口，可與計算機高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配備的SCSI接口，可提供外部觸發(fā)信號輸入和正交信號輸出，以及其它擴展應用。

2、EC20環(huán)境補償單元

可靠——對空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進(jìn)行自動(dòng)環(huán)境補償。

激光干涉儀是以激光波長(cháng)為載體，測量過(guò)程中環(huán)境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會(huì )影響激光波長(cháng)。

EC20環(huán)境補償單元可實(shí)時(shí)檢測環(huán)境條件的變化，同事進(jìn)行激光波長(cháng)補償。

EC20環(huán)境補償單元可連接三個(gè)材料溫度探頭，監測被測對象其材料的溫度變化，同事進(jìn)行材料的熱膨脹補償。

EC20環(huán)境補償單元采用低功耗設計，無(wú)需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。

為了方便現場(chǎng)使用，EC20環(huán)境補償單元配備磁性?huà)彀?，溫度探頭的標準線(xiàn)長(cháng)5m，亦可定制線(xiàn)長(cháng)。

3、三腳架及便攜箱

中圖儀器激光干涉儀器設備具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。測量分辨率0.01″，系統測量精度為±1″，基準WR50自動(dòng)精密轉臺重復精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強、無(wú)線(xiàn)操作。

部分技術(shù)指標

線(xiàn)性測量

測量距離：(0~80)m (無(wú)需遠距離線(xiàn)性附件)

測量精度：0.5ppm (0~40)℃

測量分辨力：1nm

測量最大速度：4m/s

角度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±10°

測量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

測量分辨力：0.1″

平面度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±1.5mm

測量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

基板尺寸：180mm可調，360mm可調

測量分辨力：0.1μm