激光干涉儀在工業(yè)制造行業(yè)發(fā)揮著(zhù)重要作用。它以激光波長(cháng)為已知長(cháng)度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長(cháng)度測量，可以檢測加工中心及機床、三坐標測量機的各項精度參數，使被加工工件符合標準，提高了產(chǎn)出的整體質(zhì)量度。中圖儀器品牌的激光干涉儀能實(shí)現線(xiàn)性定位精度、直線(xiàn)度、角度、回轉軸等幾何量測量功能，同時(shí)結合不同的光學(xué)鏡組，還能檢測運動(dòng)導軌的俯仰角、直線(xiàn)度和垂直度、扭擺角，記憶校準機床的回轉軸精度。

產(chǎn)品參數

技術(shù)指標

全套系統

主要鏡組為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

機床應用案例

測量機床回轉軸精度

測量機床直線(xiàn)度

數控機床精度校準

中圖儀器品牌的激光干涉儀采用氦氖激光器作為光源。其精度高，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此降低了對環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實(shí)驗室，還可在車(chē)間條件下測量大距離用。激光千涉傳感器可應用于精密長(cháng)度計量，如線(xiàn)紋尺和光柵的檢定，量塊自動(dòng)測量，精密絲桿動(dòng)態(tài)測量等，還可用于工件尺寸、坐標尺寸的精密測量中。