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SuperViewW1表面粗糙度光學(xué)測量?jì)x采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件，采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進(jìn)行驗收，其中臺階高標準片高度在4.7um左右，測量精度要求為0.75%，重復精度要求0.1%（1σ）（測量15次獲取的數據標準差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量，主要測量參數為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。

SJ5718-R在線(xiàn)粗糙度儀具有精度高、使用方便、功能強等優(yōu)點(diǎn)，能夠對各種工件輪廓進(jìn)行長(cháng)度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數測量，并且具有的CNC功能能進(jìn)行一系列操作自動(dòng)化，可高效率地進(jìn)行測量作業(yè)。

大量程粗糙度測量?jì)x是一款表面粗糙度測量?jì)x器；采用進(jìn)口高精度光柵測量系統、高精度研磨導軌、高性能非接觸直線(xiàn)電機、音圈電機測力系統、高性能粗糙度測量模塊、高性能計算機控制系統技術(shù)，實(shí)現對各種工件表面粗糙度的測量和分析

小型粗糙度測量?jì)x通過(guò)高精度研磨導軌、高性能直線(xiàn)電機保證測量的高穩定性及直線(xiàn)度，采用進(jìn)口高精度光柵測量系統建立工件表面粗糙度微觀(guān)輪廓的二維坐標，計算機通過(guò)修正算法對光柵數據進(jìn)行修正，最終還原出工件粗糙度信息并以曲線(xiàn)圖顯示出來(lái)，通過(guò)軟件提供的分析工具可對粗糙度進(jìn)行各種參數分析。

由于硅晶圓的粗糙度檢測精度已到亞納米量級，而在此量級上，接觸式輪廓儀和一般的非接觸式儀器均無(wú)法滿(mǎn)足檢測要求，只有結合了光學(xué)干涉原理和精密掃描模塊的SuperViewW1晶圓粗糙度檢測儀器才適用。

中圖儀器SuperViewW1 非接觸粗糙度測量?jì)x分辨率0.1μm，重復性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。