臺階儀是一種接觸式表面形貌測量?jì)x器,可以對微米和納米結構進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類(lèi)、材料硬度都沒(méi)有特別要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩定、便捷、高效,是微觀(guān)表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。長(cháng)期以來(lái),此類(lèi)儀器被歐美廠(chǎng)商壟斷,國內尚無(wú)廠(chǎng)商可提供同類(lèi)產(chǎn)品,鑒于此,我司開(kāi)發(fā)出了具有自主知識產(chǎn)權的臺階儀。
臺階儀廣泛應用于:大學(xué)、研究實(shí)驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽(yáng)能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車(chē)、醫療設備等行業(yè)領(lǐng)域。
CP200臺階儀顯著(zhù)特性:
1.出色的重復性和再現性,滿(mǎn)足被測件測量精度要求
線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
2.超微力恒力傳感器:(1-50)mg可調
測力恒定可調,以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制,實(shí)現無(wú)接觸損傷的精準接觸式測量。
3.超平掃描平臺
系統配有超高直線(xiàn)度導軌,杜絕運動(dòng)中的細微抖動(dòng),提高掃描精度,真實(shí)反映工件微小形貌。
4.頂視光學(xué)導航系統,5MP超高分辨率彩色相機
5.全自動(dòng)X(jué)Y載物臺, Z軸自動(dòng)升降、360°全自動(dòng)θ轉臺
6.強大的數據采集和分析系統
臺階儀軟件包含多個(gè)模塊,為對不同被測件的高度測量及分析評價(jià)提供充分支持。
CP200臺階儀典型應用:
光刻膠臺階高曲線(xiàn)測量
中圖儀器擁有豐富的微納測量解決方案,您有測樣或索取詳細資料的需求請給我們留言或聯(lián)系我們!
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