臺階儀是一種接觸式表面形貌測量?jì)x器，可以對微米和納米結構進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類(lèi)、材料硬度都沒(méi)有特別要求，樣品適應面廣，數據復現性高、測量穩定、便捷、高效，是微觀(guān)表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。長(cháng)期以來(lái)，此類(lèi)儀器被歐美廠(chǎng)商壟斷，國內尚無(wú)廠(chǎng)商可提供同類(lèi)產(chǎn)品，鑒于此，我司開(kāi)發(fā)出了具有自主知識產(chǎn)權的臺階儀。

臺階儀廣泛應用于：大學(xué)、研究實(shí)驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽(yáng)能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車(chē)、醫療設備等行業(yè)領(lǐng)域。

CP200臺階儀顯著(zhù)特性：

1.出色的重復性和再現性，滿(mǎn)足被測件測量精度要求

線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調

測力恒定可調，以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制，實(shí)現無(wú)接觸損傷的精準接觸式測量。

3.超平掃描平臺

系統配有超高直線(xiàn)度導軌，杜絕運動(dòng)中的細微抖動(dòng)，提高掃描精度，真實(shí)反映工件微小形貌。

4.頂視光學(xué)導航系統，5MP超高分辨率彩色相機

5.全自動(dòng)X(jué)Y載物臺， Z軸自動(dòng)升降、360°全自動(dòng)θ轉臺

6.強大的數據采集和分析系統

臺階儀軟件包含多個(gè)模塊，為對不同被測件的高度測量及分析評價(jià)提供充分支持。

CP200臺階儀典型應用：

光刻膠臺階高曲線(xiàn)測量

中圖儀器擁有豐富的微納測量解決方案，您有測樣或索取詳細資料的需求請給我們留言或聯(lián)系我們！