它也是一個(gè)交流測試系統，當激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會(huì )受光強變化影響發(fā)生變化，也不會(huì )因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，干擾能力強，精度高，測量結果可靠，在精度要求高的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應用。

　　激光干涉儀的基本原理與單頻激光干涉儀不同。激光器放在軸向磁場(chǎng)內，發(fā)出的激光為方向相反的右旋圓偏振光和左旋圓偏振光，其振幅相同，但頻率不同，分別表示為f1和f2。經(jīng)分光鏡M1，一部分反射光經(jīng)檢偏器射入光電元件D1作為基準頻率f基 (f基＝f1－f2)。另一部分通過(guò)分光鏡M1的折射光到達分光鏡M2的a處。頻率為f２的光束*反射，經(jīng)濾光器變?yōu)榫€(xiàn)偏振光f２，投射到固定棱鏡M３并反射到分光鏡M2的b處。頻率為f1的光束折射經(jīng)濾光器變?yōu)榫€(xiàn)偏振光f1，投射到可動(dòng)棱鏡M4后也反射到分光鏡M2的b處，兩者產(chǎn)生相干光束。若M4移動(dòng)，則反射光的頻率發(fā)生變化而產(chǎn)生“多卜勒效應，其頻差為多卜勒頻差Δf。

　　頻率為f’＝f1±Δf的反射光與頻率為f２的反射光在b處匯合后，經(jīng)檢偏器射入光電元件D２，得到頻率為測量頻率f測＝f２－(f1±Δf)的光電流，這路光電流與經(jīng)光電元件D１后得到頻率為f基的光電流同時(shí)經(jīng)放大器進(jìn)入計算機，經(jīng)減法器和計數器，即可算出差值±Δf，并按下式計算出可動(dòng)棱鏡M4的移動(dòng)速度v和移動(dòng)距離l。即可算出差值±Δf，并按下式計算出可動(dòng)棱鏡M4的移動(dòng)速度v和移動(dòng)距離L。

　　以上就是激光干涉儀的工作原理的相關(guān)內容了，希望本文對你有所幫助！