臺階儀是一種常見(jiàn)的工業(yè)測量?jì)x器,廣泛應用于大學(xué)、研究實(shí)驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽(yáng)能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車(chē)、醫療設備等行業(yè)領(lǐng)域。它能完成對微米和納米結構進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。
當觸針沿被測表面輕輕滑過(guò)時(shí),由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)還沿峰谷作上下運動(dòng)。觸針的運動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。
CP200臺階儀采用線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃,具有良好的測量精度及重復性。高信噪比和低線(xiàn)性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征??梢詼y量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等,沒(méi)有特別的要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩定、便捷、高效,是微觀(guān)表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。
1、半導體應用
(1)沉積薄膜的臺階高度
(2)抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度
(3)蝕刻速率測定
(4)化學(xué)機械拋光(腐蝕、凹陷、彎曲)
2、大型基板應用
(1)印刷電路板(突起、臺階高度)
(2)窗口涂層
(3)晶片掩模
(4)晶片卡盤(pán)涂料
(5)拋光板
3、玻璃基板及顯示器應用
(1)AMOLED
(2)液晶屏研發(fā)的臺階步級高度測量
(3)觸控面板薄膜厚度測量
(4)太陽(yáng)能涂層薄膜測量
4、柔性電子器件薄膜應用
(1)有機光電探測器
(2)印于薄膜和玻璃上的有機薄膜
(3)觸摸屏銅跡線(xiàn)
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