在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中,如需要分析金屬材料/部件粗糙度的時(shí)候,不管是使用原子力顯微鏡還是臺階儀,都沒(méi)有辦法同時(shí)兼顧分辨率、掃描區域以及掃描速度。而基于激光共聚焦顯微測量技術(shù)的VT6000激光共聚焦顯微鏡,配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節的展現纖毫畢現,能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀(guān)察。并且可以在保證分辨率的同時(shí)滿(mǎn)足測量速度的需求。
1、非接觸式掃描,操作簡(jiǎn)便,樣品即放即掃。
應用:墊圈
激光共聚焦顯微鏡非接觸式掃描測量速度比接觸式測量快數百倍。能以更高的精度對亞微米范圍的3D結構進(jìn)行測量,短時(shí)間內能測量整個(gè)面板表面密封件的性能,以及其與表面組成相關(guān)的各種數據點(diǎn)。
2、具備表征微觀(guān)形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。
應用:金屬板
除粗糙度評價(jià)標準外,激光共聚焦顯微鏡還可以計算和評估表面封閉區域的微體積,適用于評估這些重要的功能性三維結構。結合測量中提供的自動(dòng)測量和批量測量功能,可實(shí)現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。
應用:摩擦學(xué),腐蝕等表面工程
磨痕的體積測量,粗糙度測量,表面形貌,腐蝕以及亞微米表面工程后的表面形貌。
應用:半導體/ LCD
各種工藝(顯影,刻蝕,金屬化,CVD,PVD,CMP等)后表面形貌觀(guān)察, 缺陷分析 非接觸型的線(xiàn)寬,臺階深度等測量。
3、具備自動(dòng)拼接功能,能夠快速實(shí)現大區域的拼接縫合測量。
在樣品表面抽取多個(gè)區域測量,就可以快速實(shí)現大區域、高精度的測量,從而對樣品進(jìn)行評估分析。
VT6000激光共聚焦顯微鏡具有高對比度、高分辨率及可重建三維圖像的優(yōu)勢,查看各種顯微照片更加清晰,在材料生產(chǎn)、科研和檢測領(lǐng)域獲得廣泛應用。
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