目前，在幾何量測量中最重要的激光技術(shù)是用廣電轉換條紋計數等方法來(lái)測量長(cháng)度，這種方法具有精度高、速度快、量程大、始于非接觸測量及自動(dòng)測量等優(yōu)點(diǎn)?；诩す飧缮鎯x技術(shù)的精密角度測量系統，通過(guò)角度轉換裝置將角度量轉換為可以反映干涉光路中光程差變化的線(xiàn)性位移量，由此引起干涉條紋的變化，再通過(guò)相應電路對干涉條紋進(jìn)行一系列處理，從而實(shí)現了對大轉角的精密測量。具有結構簡(jiǎn)單、誤差恒定、測量精度高、測角范圍大、易于數字化等特點(diǎn)。

激光干涉儀利用激光作為長(cháng)度基準，可以對數控設備（加工中心、三坐標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線(xiàn)度、垂直度等）進(jìn)行精密測量。其中角度測量主要應用于運動(dòng)軸的角擺測量和轉軸的旋轉角度測量?？筛呔葯z測機床/三坐標精度誤差。

激光干涉儀角度測量法原理

角度反射鏡旋轉時(shí)產(chǎn)生轉角，或是移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生角擺，兩束反射光會(huì )有相對應的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號，經(jīng)過(guò)運算處理，即可得出對應的角度值。

角度測量原理構建圖

激光干涉儀測量角度基本配置：

角度測量配置主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成，可滿(mǎn)足±10°范圍內的角度測量。

運動(dòng)軸的俯仰角度測量示意圖

運動(dòng)軸的偏擺角度測量示意圖