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激光干涉儀測量機床精度之線(xiàn)性測量

更新時(shí)間:2022-11-02      點(diǎn)擊次數:1160

數控機床因為高精度、高效率、多功能等優(yōu)點(diǎn),廣泛應用于各行業(yè)中。為了保證機床的加工精度,需要用到激光干涉儀對它們做定期精度檢查,這樣才能保證加工產(chǎn)品的質(zhì)量。

線(xiàn)性測量是激光干涉儀用來(lái)檢定機床定位精度的一種常見(jiàn)測量。


線(xiàn)性測量構建

進(jìn)行線(xiàn)性測量需使用到“線(xiàn)性干涉鏡"(由分光鏡和角錐反射鏡A組 成)和“線(xiàn)性反射鏡"(角錐反射鏡B)。激光從SJ6000激光干涉儀主機(激光頭)出射,通過(guò)分光 鏡后將分成兩束激光,一束激光為通過(guò)角錐反射鏡A的參考光,另一束激光為通過(guò)角錐反 射鏡B的測量光,通過(guò)移動(dòng)“線(xiàn)性反射鏡"可實(shí)現運動(dòng)軸的線(xiàn)性測量。


線(xiàn)性測量原理構建圖


SJ6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù),可以輸出高精度、抗擾力強、高穩定性的激光頻率。其線(xiàn)性測量可滿(mǎn)足(0?80)m范圍內的精密測量,主要應用于測量直線(xiàn)導軌的定位精度、重復 定位精度和反向間隙等。


數控機床的線(xiàn)性測量


數控機床傾斜軸的線(xiàn)性測量


線(xiàn)性測量步驟:

1、設置激光器系統以執行線(xiàn)性測量;

2、使激光束與機床的運動(dòng)軸準直;

3、啟動(dòng)自動(dòng)環(huán)境補償功能,確保在軟件中輸入正確的材料膨脹系數;

4、測量和記錄機床的線(xiàn)性誤差;

5、分析數據。


注意事項

1、線(xiàn)性測量過(guò)程尤其是在測量與激光頭成直角的水平軸和垂直軸、斜軸的時(shí)候,光路調節困難,這時(shí)候就需要巧妙安裝反射鏡和折射鏡。

2、使用光靶能簡(jiǎn)單準直激光束

3、在開(kāi)始測量時(shí),或者在返程測量時(shí)激光干涉儀不踩點(diǎn),可能原因有:

(1)光強太弱;

(2)當返回測量時(shí),激光干涉儀不采集數據。這時(shí)候要分析“越程"量設置是否正確,或是機床在程序運行中有沒(méi)有考慮“越程"。

4、線(xiàn)性反射鏡箭頭方向就是激光進(jìn)行方向,一定要正確組合線(xiàn)性反射鏡組。

5、反射鏡組的一條邊棱與永磁體座盡量平行或垂直,這將為后面進(jìn)行找正光源做好基礎。

6、激光頭預熱時(shí)間會(huì )根據氣溫的變化而變化,所以在測量數據前要保證在激光波長(cháng)穩定后進(jìn)行。

7、測試工作完成后,應先將激光頭電源關(guān)掉,關(guān)閉電腦。


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