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光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測試,和精密機械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。光學(xué)3D輪廓測量?jì)x是精密光學(xué)測量設備，振動(dòng)會(huì )對其測量精度造成擾動(dòng)，所以幾乎都會(huì )配有隔振平臺。
3d光學(xué)輪廓測量?jì)x可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，能達到微型范圍內重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類(lèi)精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中。
光學(xué)3D輪廓測量?jì)x工作原理：
光學(xué)3D輪廓儀是利用光學(xué)顯微技術(shù)、白光干涉掃描技術(shù)、計算機軟件控制技術(shù)和PZT垂直掃描技術(shù)對工件進(jìn)行非接觸測量，還原出工件3D表面形貌宏微觀(guān)信息，并通過(guò)軟件提供的多種工具對表面形貌進(jìn)行各種功能參數數據處理，實(shí)現對各種工件表面形貌的微納米測量和分析的光學(xué)計量?jì)x器。
光學(xué)3D輪廓測量?jì)x只需操作者裝好被測工件，在檢定軟件上設定物鏡倍率和測量模式后點(diǎn)擊“開(kāi)始"按鈕，光學(xué)物鏡會(huì )對工件表面進(jìn)行自動(dòng)對焦和非接觸掃描，并按設定的位置進(jìn)行測量，軟件界面會(huì )實(shí)時(shí)掃描物體宏微觀(guān)表面形貌；掃描結束后，操作者可通過(guò)分析工具對生成的3D形貌進(jìn)行分析，得到如輪廓、厚度、粗糙度、體積等多種表面形貌測量分析數據。主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量，可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。
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